中微半導體設備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微公司”）近日披露了2025年第三季度財務數據，顯示公司在半導體設備領域持續(xù)保持強勁增長態(tài)勢。報告顯示，2025年前三季度，中微公司實現營業(yè)收入80.63億元，同比增長46.40%；凈利潤達到12.11億元，較去年同期增長32.66%。

薄膜設備業(yè)務則成為中微公司新的增長點。報告顯示，LPCVD（低壓化學氣相沉積）和ALD（原子層沉積）等薄膜設備實現收入4.03億元，同比大幅增長1332.69%。公司為先進存儲器件和邏輯器件開發(fā)的LPCVD、ALD等多款薄膜設備已順利進入市場，設備性能達到國際領先水平，市場覆蓋率不斷提升。

在研發(fā)投入方面，中微公司持續(xù)加大力度。2025年前三季度，公司研發(fā)支出達到25.23億元，較去年同期增長63.44%，占營業(yè)收入比例約為31.29%，遠高于科創(chuàng)板平均水平。公司表示，市場對多種新設備的需求急劇增長，為盡快補齊短板、實現技術趕超，公司顯著加大了研發(fā)力度，為持續(xù)增長奠定基礎。

凈利潤增長的主要驅動力來自多方面。首先，營業(yè)收入增長46.40%帶動毛利較上年增加約8.27億元；其次，研發(fā)支出雖同比增加9.79億元，但為公司長期發(fā)展提供了技術保障；市場波動導致公司計入非經常性損益的股權投資收益為3.29億元，較上年同期增加約2.75億元。

在產品驗證方面，中微公司也取得重要進展。公司硅和鍺硅外延EPI設備已順利運付客戶端進行量產驗證，并獲得客戶高度認可。在泛半導體設備領域，公司正在開發(fā)更多化合物半導體外延設備，已陸續(xù)付運至客戶端開展生產驗證，進一步拓展了業(yè)務邊界。